Laboratoř nanolitografie – pracoviště elektronového nanolitografu e_LiNE

Čistý sál třídy 1000. Vpravo od vchodu 2 řídicí počítače nanolitografu. Operátor otevírá skříň s ovládacími jednotkami. V bíle osvětlené laminární zóně (třídy 100) je na antivibračním bloku umístěn vlastní nanolitograf e_LiNE (Raith). Vpravo od zóny vzadu jednotka magnetického stínění (SC20, Spicer Consulting). Druhý operátor měří elipsometrem parametry deponovaných rezistových vrstev. Vpravo od průchodu odsávaná skříň s rezisty a chemikáliemi, lednička na uchovávání rezistů, deionizační jednotka pro přípravu čisté vody a oční bezpečnostní sprcha. Okno ve stěně vede do šedé šatny.