Laboratoř nanolitografie – pracoviště fotolitografie a zpracování rezistů

Pokračování čistého sálu třídy 1000. Vpravo od vchodu pohled z jiného úhlu na elektronový nanolitograf e_LiNE a elipsometr. Dále vpravo profilometr (Dektak 150). Druhý operátor obsluhuje optické projekční zařízení (Canon FPA). Vpravo od stolu s optickou mikroskopií třetí operátor připravuje polovodičové vzorky k depozici rezistů. V půdorysu žlutého osvětlení stropu se nachází druhá laminární zóna třídy 100. Společně s laminární zónou elektronového nanolitografu se jedná o nejčistší oblasti celého pracoviště.