Koloidní difuzní zdroje pro technologii výkonových polovodičových součástek

Poskytovatel: Ministerstvo průmyslu a obchodu České republiky

Řešitel: Ing. Jan Mrázek, Ph.D., Ing. Jan Boháček, ABB s.r.o.

Typ projektu: TRIO

Od: 2018-01-01

Do: 2019-12-31


Hlavním cílem projektu je výzkum koloidních difuzních zdrojů fosforu a bóru a jejich aplikace v technologii polovodičových výkonových součástek, především při výrobě usměrňovacích diod. Kolidní difuzní zdroje fosforu a bóru, vyvinuté v rámci průmyslového výzkumu, budou zavedeny dostávajícího technologického provozu, kde nahradí v současnosti používané kapalné difuzní zdroje.

 

 

 

 

 

ÚFE provádí základní a aplikovaný výzkum v oblasti fotoniky, optoelektroniky a elektroniky. ÚFE příspívá k rozvoji poznání v těchto oblastech a vytváří širokou bázi znalostí, jako základ pro vývoj nových špičkových technologií.

Kontakt

+420 266 773 400
ufe@ufe.cz
Datová schránka: m54nucy
IČ: 67985882
DIČ: CZ67985882