Laboratoř depozice tenkých vrstev

Depozice tenkých vrstev metodou napařování ve vakuu.

Vybavení:

  • vakouvá napařovací aparatura (PLS 570, Pfeiffer vacuum, Německo)
  • mechanický profilometr (Alpha Step, Tencor, USA)

vakouvá napařovací aparatura

ÚFE provádí základní a aplikovaný výzkum v oblasti fotoniky, optoelektroniky a elektroniky. ÚFE příspívá k rozvoji poznání v těchto oblastech a vytváří širokou bázi znalostí, jako základ pro vývoj nových špičkových technologií.

Kontakt

+420 266 773 400
ufe@ufe.cz
Datová schránka: m54nucy
IČ: 67985882
DIČ: CZ67985882