Skupina speciálních technologií se zabývá:

• Vývojem technologií a konstrukcí technologických zařízení, která představují nezbytné zázemí pro stavbu elektronově optických přístrojů pracujících ve vakuovém, resp. ultravysokovakuovém prostředí. Mezi tyto technologie patří především svařování a obrábění elektronovým svazkem, pájení ve vakuu, vývoj a výroba vakuových průchodek apod.
• Magnetronovým naprašováním, kterým vytváří povlaky např. Al, Si ,Mo, Ti, Ni, Ag, C, ITO, Nb, W, TiN, Si₃N₄, SiO₂ a jejich kombinací. Skupina zvládla přípravu multivrstvých systémů pro rentgenovou optiku, tvořených dvouvrstvami nanometrových tlouštěk o sumární tloušťce desetin mikrometru s přesností v oblasti desetin nanometru.
• Vakuovým napařováním elektronovým svazkem a spektrofotome­trickým měřením jejich spektrální odrazivosti a propustnosti.
• Otěruvzdornou ochranou nástrojů perspektivními povlaky uhlíku, nitridu uhlíku, nanostrukturovaných multivrstev a nanokompozitů na bázi uhlíku.
• Charakterizací tvrdých otěruvzdorných povlaků dynamickým impaktním testerem (jako jedno ze dvou pracovišť v ČR).