Oblasti výzkumu

Speciální technologie

Elektronová litografie
Nanolitografie
Planární nanostruktury
Mikrolitografická technologie
Mikrolitografie
Průmyslová holografie pomocí elektronové litografie
Průmyslová holografie
Elektronová litografie pro nanotechnologie
Elektronové litografy
Elektronové technologie
Vakuové elektrické průchodky
Vakuové elektrické průchodky
Pájení ve vakuu
Pájení ve vakuu
Svařování elektronovým svazkem
Svařování elektronovým svazkem
Tenké vrstvy
Depozice a charakterizace tenkých vrstev magnetronovým naprašováním
Depozice a charakterizace tenkých vrstev magnetronovým naprašováním