Text
Manuální dvojsvazkový laserový interferometr je elektrický a optický systém pro měření elektrických a elektromechanických (piezoelektrických) vlastností materiálů, které jsou deponovány na “waferu” (tenké vrstvy). Elektrické kontakty jsou realizovány pomocí jehlových sond. Použité napětí může být až 200 V; kmitočtový rozsah: 1 mHz až 5 kHz. Měření závislá na teplotě se provádí pomocí HFS600E LINKAM modulu v rozsahu od -40 do 500° C.