Řešitel Mgr. Martin Čada, Ph.D. Mgr. Zdeněk Hubička, Ph.D. J. Hnilica P. Klein P. Vašina Laboratoř / Oddělení Oddělení nízkoteplotního plazmatu Datum udělení 1. 1. 2020 Dovětek Funkční vzorek HiPIMS depozičního procesu využívající více krátkých pulzů k dosažení vyšší depoziční rychlosti při dostačující ionizaci deponovaných částic.
