Studium tenkých vrstev krystalického křemíku na strukturovaných podložkách s nanometrovým rozlišením

Anotace

Spolupráce mezi Fyzikálním ústavem AV ČR v Praze a Helmholtz Zentrum v Berlíně dovoluje využít již získané zkušenosti v rámci evropského projektu PolySiMode (končícího v listopadu 2012).