Řešitel Mgr. Martin Čada, Ph.D. D. Tvarog Mgr. Zdeněk Hubička, Ph.D. A. Poruba J. Dolák Laboratoř / Oddělení Oddělení nízkoteplotního plazmatu Datum udělení 1. 1. 2020 Dovětek Optimalizovaný ICP plazmový zdroj byl navržen pro implementaci do Minimal fab systému.
