Hlavní směr mé vědecké aktivity je zaměřen na vývoj a výzkum depozičních systémů tenkých vrstev s planárními magnetrony, plazmovými tryskami a mikrovlnnými surfatrony. Další klíčovou oblastí je diagnostika nízkoteplotního plazmatu převážně v technologickém plazmatu během depozice tenkých vrstev s využitím časově rozlišené: Langmuirovy sondy, Sobolewského sondy měřící iontový tok na podložku, mřížkové sondy s brzdným elektrickým potenciálem a modifikované Katsumata sondy. Dále pak měřením energetického toku na podložku pomocí kalorimetrické sondy. V poslední době se také věnuji časově rozlišené hmotnostní a energetické spektroskopii iontů nebo neutrálů a také časově rozlišené optické emisní spektroskopii plazmatu.
V poslední době se intenzívně zabývám vývojem a optimalizací PEALD systému s mikrovlnným surfatronem pro nanášení velmi tenkých bariérových vrstev na bázi materiálů TiO2 nebo Al2O3. Dále pak systémy s dutou katodou jsou využívány pro efektivní depozici katalyzátorů pro tepelný rozklad organických těkavých látek založených na spinelové struktuře oxidů přechodových kovů. Zajímavé aplikační téma je pak studium hybridního HiPIMS systému založeného na cíleném zapalování katodového oblouku během pulzu HiPIMS výboje, tzv. HiPIMS+Arc. Cílem je vyvinout depoziční technologii pro přípravu ta-C s vysokou tvrdostí a nízkou drsností, což je momentálně nedosažitelné současnými technologiemi. Novým tématem výzkumu pak je příprava disulfidů vysoce entropických slitin pomocí reaktivního magnetronového naprašování s cílem najít nízkoteplotní technologii přípravy 2D materiálů vhodných pro vysoce aktivní katalytické reakce.
