Řešitel A. Mašláni M. Buryi Ing. Tomáš Mates, Ph.D. J. Vyskočil Laboratoř / Oddělení Oddělení tenkých vrstev a nanostruktur Datum udělení 1. 1. 2024 Dovětek Protokol o ověření technologie v rámci plnění cíle V004 (Ztech) projektu TA ČR TN02000069/004.