Oddělení vícevrstvých struktur  [Anglicky]

Výzkum
   
   

Přehled aktuálně řešených problémů na našem pracovišti

1. Studium složení a vlastností nízkotlakého plazmatu pomocí hmotnostní spektrometrie
2. Laserová depozice a studium tenkých vrstev pro optiku, strojírenství a lékařství
3.
Studium optických vlastností pevných látek ve vakuovém UV spektrálním oboru

  

Hmotnostní spektrometr Hiden

Studium složení a vlastností nízkotlakého plazmatu pomocí hmotnostní spektrometrie:
 
Hmotnostní spektrometrie nízkotlakého plazmatu.  
Absolutní měření koncentrací neutrálních molekul a radikálů pomocí MBMS.
 
Mikrovlnná elektron-cyklotron-resonance PE CVD.
 
Magnetronové naprašování.

více informací ...

PLD+HC

Laserová depozice a studium tenkých vrstev pro optiku, strojírenství a lékařství:
 

Vytváření multivrstev, gradientních a nanokompozitních vrstev. Vývoj a studium technologie hybridní laserové depozice - kombinace laseru s magnetronem a s výboji. Vývoj planárních vlnovodných laserů, tenkovrstvových čidel plynů, pokrytí zubních protéz a srdečních chlopní hydroxyapatitem a diamantu podobným uhlíkem.

více informací ...

Vakuová komora s fotonásobičem

Studium optických vlastností pevných látek ve vakuovém ultrafialovém spektrálním oboru:

Měření spekter odrazivosti a propustnosti pevných látek ve vakuovém ultrafialovém (VUV) oboru. Užitím vakuového monochromátoru podstatným způsobem rozšiřujeme oblast studia optických vlastností pevných látek než je oblast dosahovaná obvykle pomocí spektroskopických elipsometrů.

více informací ...

     Stránky udržuje
Jiří Olejníček (olejn@fzu.cz)
Poslední aktualizace:
  08.06.2006