Tým se zabývá výzkumem technologie mikrolitografie s využitím zápisu pomocí elektronového litografu. Naše činnost je zaměřena na přípravu struktur v tenkých vrstvách kovů a dielektrik na křemíkových podložkách pro různé typy snímačů. Pro optické aplikace vytváříme velkoplošné mikrostruktury pro tvarování laserového svazku a difrakční struktury pro aplikace v průmyslové holografii.

Nezbytnou součástí výzkumu je řešení software pro řízení expozice s ohledem na zpracovávání velkého objemu dat. Součástí řešení je i modelování a simulace pro optimalizaci parametrů vytvářených struktur a pro usnadnění jejich návrhu.

Elektronový litograf můžeme jednoduše charakterizovat jako zápisové zařízení s velmi vysokým rozlišením. (Pro srovnání můžeme říci, že má rozlišení asi tisíckrát lepší než kvalitní laserová tiskárna.) Jednou ze zajímavých oblastí aplikace jsou struktury pro tvarování světelného svazku. Ačkoliv vlastní jemnou strukturu nelze okem rozlišit, její projev při nasvícení světelným paprskem je dobře pozorovatelný.

Dosavadní příklady ukazovaly struktury, jejichž základní motiv se opakoval podél přímých linek. Jednotlivá difrakční maxima byla oddělená (říkáme rovněž diskrétní). Na tomto uspořádání je vidět případ, kdy jednotlivé vrypy jsou tvořeny kružnicemi. Velikost (poloměr) těchto kružnic se pravidelně zvyšuje. Strukturu nazýváme zpravidla kruhová mřížka a jejím difrakčním obrazem je jedna kružnice. (Vzhledem ke způsobu promítání v našem modelu se její tvar jeví poněkud zkresleně.) Kromě difrakčního obrazu (kružnice) ukazuje tento model také bod (střed kružnice), který odpovídá směru prostého odrazu světla. Základní strukturou datových nosičů (CD, DVD, BD apod.) je rovněž kruhová mřížka.