Wayback Machine
«SEP SEP DEC »
Previous capture 1 Next capture
«2011 2012 2013 »
8 captures
1 May 10 - 13 Sep 14
Close Help
Na snímcích vidíte část integrovaného obvodu. Jsou patrné vodivé propojky a kontaktní plošky. Velmi nízké energie paprsku elektronů přinášejí obrazové kontrasty jiným způsobem nedosažitelné, zde je například možné pozorovat topografii defektů.
Jak vzniká snímek v rastrovacím elektronovém mikroskopu? Vzorek je bod po bodu osvětlován velmi úzkým elektronovým paprskem. Z ozařovaného bodu vzorku vytryskne gejzír signálních elektronů, jehož intenzitu změří detektor. Tato intenzita je pak vyjádřena stupněm šedi příslušného bodu na vznikajícím snímku.
Elektronový paprsek v běžných elektronových mikroskopech má z mnoha praktických důvodů velmi vysokou energii. Vysoce energetické elektrony ovšem pronikají do vzorku hluboko a navíc se v něm široce rozptylují do stran. Gejzír vzniklých signálních elektronů pak netryská jen z ozařovaného bodu na povrchu, ale i z jeho rozsáhlého okolí a ze značné hloubky. Moderní nanotechnologie si ovšem žádají informace z objemu spíše v rozměrech řádu atomů.