Tým se zabývá výzkumem technologie mikrolitografie s využitím zápisu pomocí elektronového litografu. Naše činnost je zaměřena na přípravu struktur v tenkých vrstvách kovů a dielektrik na křemíkových podložkách pro různé typy snímačů. Pro optické aplikace vytváříme velkoplošné mikrostruktury pro tvarování laserového svazku a difrakční struktury pro aplikace v průmyslové holografii.

Nezbytnou součástí výzkumu je řešení software pro řízení expozice s ohledem na zpracovávání velkého objemu dat. Součástí řešení je i modelování a simulace pro optimalizaci parametrů vytvářených struktur a pro usnadnění jejich návrhu.

Elektronový litograf můžeme jednoduše charakterizovat jako zápisové zařízení s velmi vysokým rozlišením. (Pro srovnání můžeme říci, že má rozlišení asi tisíckrát lepší než kvalitní laserová tiskárna.) Jednou ze zajímavých oblastí aplikace jsou struktury pro tvarování světelného svazku. Ačkoliv vlastní jemnou strukturu nelze okem rozlišit, její projev při nasvícení světelným paprskem je dobře pozorovatelný.

Struktura v tomto příkladě je zobecněním předchozích případů. Struktura je navržena tak, aby ohýbala dopadající světlo do předem zvolených směrů. Zvolené směry jsou zde ohraničeny obrysem písmene A. Podobně jako v předchozích případech je difrakční obraz symetrický vzhledem ke středovému bodu. Uspořádání struktury (způsob její modulace) už není tak jednoduchý jako v předchozích příkladech. (Poznamenejme, že pro výpočty se obvykle používá dvojrozměrná Fourierova transformace.)